生产设备与工艺能力

设备体系概述

微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）是金刚石材料生长的核心工艺技术。乾晟围绕不同晶圆尺寸需求，部署了多台MPCVD设备，形成覆盖3–8英寸尺寸范围的生产能力体系。