01
设备体系概述
微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）是金刚石材料生长的核心工艺技术。乾晟围绕不同晶圆尺寸需求，部署了多台MPCVD设备，形成覆盖3–8英寸尺寸范围的生产能力体系。
02
设备参数
| 设备型号 | 设备外形尺寸（长×宽×高） | 可生产金刚石晶圆尺寸 |
|---|---|---|
| TZG-B02 | 3500mm × 1200mm × 2800mm | 6–8英寸 |
| TZG-B03 | 3500mm × 1200mm × 2900mm | 6–10英寸 |
微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）是金刚石材料生长的核心工艺技术。乾晟围绕不同晶圆尺寸需求，部署了多台MPCVD设备，形成覆盖3–8英寸尺寸范围的生产能力体系。
| 设备型号 | 设备外形尺寸（长×宽×高） | 可生产金刚石晶圆尺寸 |
|---|---|---|
| TZG-B02 | 3500mm × 1200mm × 2800mm | 6–8英寸 |
| TZG-B03 | 3500mm × 1200mm × 2900mm | 6–10英寸 |