跳到主内容
SINGLE CRYSTAL DIAMOND

单晶金刚石

Single Crystal Diamond

MPCVD生长单晶金刚石,提供片状7×7mm至25×25mm多种标准规格,面向高性能电子与功能材料应用,是高热流密度器件热扩散与前沿器件研发验证的理想材料平台。

1800–2200 W/(m·K) · 材料参考值0.3–5 mm
单晶金刚石
QS / PRODUCT PLATFORM MPCVD

01 / PRODUCT OVERVIEW

产品概述

单晶金刚石采用MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)工艺生长而成,是单一晶体取向、结构均匀的功能性金刚石材料,区别于颗粒弥散型或多晶结构材料。

该产品目前以片状(方形/矩形,毫米级尺寸)为主要形态,同时具备圆形(晶圆状)形态的能力。可作为独立的高性能功能材料基片使用,也可作为后续金属化、封装或器件集成的基础材料(如金刚石覆铜片、覆铝片等复合结构产品即以单晶金刚石为核心晶体材料)。

01
MPCVD生长
02
单晶金刚石
03
精密加工
04
金属化 / 封装
05
器件应用
02 / MATERIAL CHARACTERISTICS

晶体特性

单晶金刚石
超高热导率
热导率可达1800–2200 W/(m·K)
低热膨胀
热膨胀系数极低
高硬度
莫氏硬度 10
化学稳定性
具备优异化学稳定性
单晶结构
无晶界,热学、电学及机械性能一致性优于多晶材料
03 / SPECIFICATIONS

晶向 / 形态 / 尺寸 / 厚度

片状标准尺寸

7×7mm
8×8mm
10×12mm
11×13mm
13×15mm
15×15mm
25×25mm
THICKNESS
0.3–5mm
项目规格说明
晶向(抛光面取向)可根据需求提供金刚石属立方晶系,行业常见取向为(100)、(110)、(111);具体取向与偏角以晶向检测结果确认
形态片状(方形/矩形,主要形态);圆形(晶圆状,占比较少)片状为当前主要供货形态
片状标准尺寸7×7mm、8×8mm、10×12mm、11×13mm、13×15mm、15×15mm、25×25mm公司标准规格系列,其他尺寸可按需求提供
圆形(晶圆状)尺寸可根据需求提供可通过技术咨询确认具体规格
厚度0.3–5mm公司标准厚度范围(片状)
04 / TECHNICAL HIGHLIGHTS

材料参数

1800–2200
W/(m·K)
热导率
1.0–1.5
10⁻⁶/K
热膨胀系数
3.51–3.52
g/cm³
密度
10
—
莫氏硬度
项目单位数值说明
热导率W/(m·K)1800–2200高品质CVD单晶金刚石材料参考值,具体以实际检测报告为准
热膨胀系数10⁻⁶/K1.0–1.5CVD单晶金刚石材料参考值
密度g/cm³3.51–3.52金刚石材料物理常数
莫氏硬度—10金刚石材料本征属性
抗拉强度MPa可根据需求提供暂无本产品专属确认数值,请勿沿用覆铜片产品数据
杨氏模量GPa900–1100(行业参考)行业公开参考区间
介电常数 / 介电损耗—可根据需求提供本产品专属检测数值可按需申请
体积电阻率Ω·cm>10¹⁴(行业参考)行业公开参考区间
表面粗糙度(正/反面Ra)nm正面Ra≤1.16(样品实测)为2025年2月历史15×15mm片状批次第三方检测历史参考值,非现行批次固定参数
翘曲度 / 平面度μmSa≈0.56(历史参考值)为2025年2月历史15×15mm片状批次第三方检测历史参考值,非现行批次固定参数,详见检测资料
光学透过率 / 折射率—不适用光学级指标见"金刚石光学窗口片"产品
05 / PROCESSING CAPABILITY

加工能力

STEP 01

支持定制晶体形貌、形态(片状/圆形)、尺寸及厚度,具体加工范围以实际产能及需求确认为准。

STEP 02

可提供抛光、切割等深加工服务,具体加工工艺及精度指标可根据客户需求进一步确认。

STEP 03

如需特定晶向、纯度等级或表面处理,欢迎通过技术咨询提出具体需求,由研发团队评估可行性。

06 / APPLICATIONS

应用领域

高热流密度器件热扩散与散热验证(功率半导体、射频/微波器件相关方向)

高性能器件验证与前沿研发(超宽禁带半导体、热管理材料、光电子材料等研究方向)

材料评价、工艺开发及原型验证的基础材料平台

后续金属化/封装类产品(如覆铜片、覆铝片)的核心晶体材料来源

07 / QUALITY & VALIDATION

检测资料

2025年2月,本产品技术合作方就15×15mm规格片状单晶金刚石样品,委托中国科学院深圳先进技术研究院(SIAT)开展第三方检测,检测项目为晶圆级表面粗糙度与翘曲度:正面表面粗糙度Ra=0.7774–1.158nm,背面Ra=22.096nm,翘曲度Sa=0.5628μm,检测结论为"合格,符合晶圆级标准(按国际标准Ra<3nm视为达到晶圆级)"。

该数据为2025年早期送检结果,与当前设备与工艺批次不完全对应,仅作为工艺能力历史参考,不代表现行批次的固定出厂参数。

如需最新检测数据或具体批次报告,可通过"技术咨询"入口提出申请,由品质部门确认后视情况提供。

CONTACT

技术咨询

标准规格:片状7×7mm、8×8mm、10×12mm、11×13mm、13×15mm、15×15mm、25×25mm,厚度0.3–5mm;圆形(晶圆状)规格可根据需求提供

定制方向:晶向、形态(片状/圆形)、表面处理、纯度等级、非标尺寸及厚度均可根据需求定制